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做好Touch panel就要了解ITO材料  

2008-06-03 13:17:28|  分类: 镀膜技术 |  标签: |举报 |字号 订阅

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ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上,利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡(俗称ITO)膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃,还会在镀ITO层之前,镀上一层二氧化硅阻挡层,以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理,以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃,所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此,最终的液晶显示器都会沿浮法方向,规律的出现波纹不平整情况。

ITO薄膜的ITO导带主要由In和Sn的5S轨道组成,价带由氧的2S轨道占主导地位,氧空位及5n取代掺杂原子构成施主能及并影响导带中的载流子浓度,费米能及位于导带底之上,因而有很高的载流子能度及低导电率,ITO带隙是较宽的,因而ITO波膜对可见光、红外光具有很高的透过率

但:ITO属于非化学计量化合物。喷涂法、真空蒸发、化学气相沉淀积、反应离子注入以及磁性控溅射等方法,包括沉积条件以及表面处理方面都将影响ITO材料的性能

ITO Film和ITO Glass的镀膜主要有以下几种方法:真空条件下:①.CVD化学气相沉积, ②.0CVD金属有机化学相沉积,③.分子速外延,④化学速外延。无论用什么方法,当然ITO Film制备就要困难得多

至19世纪末出现的In2O3的材料本不是用于Touch panel的制造的,即使到了上世纪80年出现了ITO SnO2材料也不是用于Touch panel的制造的!主要应用飞机的除冰窗户玻璃。后来的In2O3:SnO2材料也主要是应用在LCD、PDP、EL/OLED等产品上,因为这些产品对ITO膜面电阻值要求不高,而Touch panel产品对ITO膜面电阻值要求就很高!

ITO Film产品对基材的选择比较关键,除了考虑后续处理的热稳定性和化学稳定性外,还必须满足低温磁控溅射的工艺,包括substrate的表面处理以及镀ITO膜前的阻挡层、中间层的化学涂覆或溅镀工序,后续的退火工艺。

由于镀膜温度的不同,形成的ITO层结晶不同,在150度以下的镀膜温度形成的是非晶型结构,其与substrate的附着力和耐化学性能较差。后期在150度以上的温度和真空环境下进行结晶转换和退火可形成结晶型膜层,提高膜层稳定性。

同时,在柔性基材镀膜设备方面,对真空设备的要求比一般在线磁控溅射玻璃镀膜设备的要求更高,其中包括张力控制系统、substrate除气系统等。

 

 

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<#--最新日志,群博日志--> <#--推荐日志--> <#--引用记录--> <#--博主推荐--> <#--随机阅读--> <#--首页推荐--> <#--历史上的今天--> <#--被推荐日志--> <#--上一篇,下一篇--> <#-- 热度 --> <#-- 网易新闻广告 --> <#--右边模块结构--> <#--评论模块结构--> <#--引用模块结构--> <#--博主发起的投票-->
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

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